光刻机第一股?❓❓华卓精科顺利过会背后:消失的“光刻机双工件台”

小青爱吃草2021-09-19  72

摘要:9月17日,上海证券交易所披露信息称,上海证券交易所科创板上市委员会2021年第69次审议会议于2021年9月17日上午召开,审议通过了北京华卓精科科技股份有限公司(以下简称“华卓精科”)⭐科创板IPO上市的申请。

9月17日,上海证券交易所披露信息称,上海证券交易所科创板上市委员会2021年第69次审议会议于2021年9月17日上午召开,审议通过了北京华卓精科科技股份有限公司(以下简称“华卓精科”)⭐科创板IPO上市的申请。

华卓精科此次申请科创板IPO,计划募资7.35亿元,将用于半导体装备关键零部件研发制造、超精密测控产品长三角创新与研发中心、集成电路装备与零部件产品创新项目、光刻机超精密位移测量及平面光栅测量技术研发4个项目。

作为号称打破国外垄断的国产光刻机双工件台企业,在华卓精科科创板IPO申请获得批准前后,不少媒体都有对华卓精科进行过报道,并称华卓精科将成为“光刻机第一股”。然而讽刺的是,一个多月前,华卓精科就曾上会,但似乎正因为将尚未实现产业化的“光刻机双工件台”业务作为主营业务而被“暂缓审议”。

此次华卓精科能够成功过会,似乎正是因为重新更新了招股书,并将“光刻机双工件台”从招股书当中删除了。

一、打破国外垄断,世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司?❓❓

众所周知,光刻机是制造大规模集成电路的核心装备。为将芯片设计图形制作到硅片上,并在一颗芯片上集成数十亿、甚至上百亿颗的晶体管,必须要用到光刻机来进行曝光。

而对于光刻机的性能来说,曝光系统是最为核心的部件。此外工件台也是一个关键部件,在高速运动下需达到2nm(相当于头发丝直径的三万分之一)⭐的运动精度,它的定位精度直接影响了光刻出来的硅片的质量。 这也奠定了光刻机超精密工件台技术在超精密机械制造与控制领域的尖端地位,被称为超精密技术皇冠上的明珠。

在2000年前,光刻设备只有一个工件台,晶圆片的对准与曝光流程都在上面完成。直到2001年,ASML推出了Twinscan双工件台系统,使得光刻机能在一个工件台进行曝光晶圆片,同时在另外一个工作台进行预对准工作,并在第一时间得到结果反馈,生产效率提高大约35%,精度提高10%以上。而随近年来技术的持续改进,双工件台的效率得到了持续的提升。

有资料显示,单工件台的光刻机的生产速度只有每小时80片,而双工件台,它的生产速度则可以高达每小时270片~300片。

虽然,相比单工件台系统来说,双工件台系统虽然仅是加一个工件台,但技术难度却不容小觑,对工件台转移速度和精度有非常高的要求。

自2013年以来,华卓精科就承担了“IC 装备高端零部件集成制造工艺研究与生产制 造”项目、“浸没式光刻机双工件台产品研制与能力建设”项目和“浸没式光刻 机双工件台平面光栅位置测量系统研发”项目等3项“02 专项”重大科研项目。并在随后几年,实现了超精密机电系统设计技术、超精密位移测量技术、超精密控制技术等核心技术的突破,奠定了公司光刻机双工件台的研发基础。

2016年4月28日,在公司创始人兼董事长——清华大学机械系机电所所长朱煜教授的带领下,华卓精科研发团队历经5年时间研发的光刻机双工件台系统样机成功通过了国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”(简称02专项)⭐实施管理办公室的项目验收。

▲光刻机双工件台样机(图片来源:清华大学)⭐

招股书显示,华卓精科还对上述技术进一步进行纵向延伸,突破了当前业内先进的 六自由度磁浮微动台技术,实现了对微动台高阶柔性模态的抑制,使其运动精度优于 2nm,大大提高了双工件台的分辨率。

在此前华卓精科官网上,华卓精科宣称其生产的光刻机双工件台,“打破了ASML公司在光刻机工件台上的技术上的垄断,成为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司。”

这也是为什么华卓精科在宣布准备在科创板上市之后,被众多媒体广泛关注和报道,并被不少媒体称之为“光刻机概念第一股”或“光刻机第一股”的关键所在。

不过,据某晶圆厂相关部门负责人向芯智讯透露,华卓精科此前宣传其是除ASML之外“世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司”有些夸张,因为在其之前,Nikon很早就有与ASML交叉专利授权,并自己有推出双工件台应用在自家的光刻机当中。另外,国产光刻机厂商上海微电子自己也有在研发双工件台。

二、“光刻机双工件台”列为主营业务引质疑,一个多月前曾被“暂缓审议”

2020年6月24日,华卓精科正式披露了科创板首次公开发行股票招股说明书(申报稿)。

在当时的申报稿当中,华卓精科称,公司主营业务为光刻机双工件台、超精密测控装备整机以及关键部件等衍 产品的研发、生产以及销售和技术服务。公司长期专注于纳米级超精密测控技术, 是国内领先的集成电路制造装备及其核心部件、精密/超精密运动系统及相关技术供应商,致力于在实现超精密机械与测控技术成果产业化的基础上成为中国乃至全球卓越的精密科技公司。公司以光刻机双工件台为核心,并以该产品的超精密测控技术为基础,开发了晶圆级键合设备、激光退火设备等整机产品,以及精密运动系统、隔振器和静电卡盘等部件衍生产品。

△华卓精科创板首次公开发行股票招股说明书(申报稿)中关于“主营业务及产品”的描述

除了在主营业务当中,突出强调了“光刻机双工件台”之外,华卓精科还在此前的招股书中称,“公司为国内首家可自主研发并实现商业化生产的光刻机双工件台供应商。作为上海微电子光刻机双工件台的供应商,公司与上海微电 子长期保持良好的合作关系,共同进行 IC 前道光刻机核心技术的研发和 IC 前道光刻机产品的生产,为国产光刻机崛起奠定了基础,占据了中国商用光刻机双工件台的主要市场份额。”

在整个招股书申报稿当中,华卓精科引以为傲的“光刻机双工件台”总共被提及了143次。

然而令人意外的是,从华卓精科招股书申报稿当中披露的主营业务收入构成数据来看,其“光刻机双工件台”业务下滑明显。

2017年及2018年,华卓精科光刻机双工件台业务营收分别为1521.37万元和795万元,在总营收当中的占比分别为28.12%和9.28%,下滑明显。而且在2019年,作为主营业务的双工件台业务营收竟然降至为零。

△华卓精科创板首次公开发行股票招股说明书(申报稿)中关于“主营业务收入构成”的数据

华卓精科在申报稿中也有特别指出,“目前,公司研发、生产的光刻机双工件台下游客户仅有上海微电子,即受限于上海微电子光刻机所获商业订单及生产排期的影响。一定程度上,公司光刻机双工件台产品商业化前景取决于上海微电子光刻机整机销售情况。若光刻机双工件台产品开发进度缓慢,光刻机其他整机部件以及整机集成技术发展滞缓,半导体设备国产化未达预期,将对发行人光刻机双工件台商业化带来不利影响,光刻机双工件台商业化前景尚不明朗。”

显然,这里将“光刻机双工件台”作为主营业务是存有一定问题的。

随后,在7月22日发布的华卓精科创板首次公开发行股票招股说明书(上会稿)中,华卓精科将原本单独作为主营业务的“光刻机双工件台”已经被重新归类到了主营业务“超精密测控装备部件”之下,并且将主要产品“光刻机双工件台”的名称也更改为了“光刻机双工件台模块”。

△7月22日华卓精科创板首次公开发行股票招股说明书(上会稿)中关于“主营业务及产品”的介绍

华卓精科更新的数据显示,2020年其“光刻机双工件台”业务重新获得了1737.74万元的营收,但这时项目名称也更改为了“光刻机双工件台模块及技术开发”。

△7月22日华卓精科创板首次公开发行股票招股说明书(上会稿)中关于“主营业务收入构成”的数据

也就是说,华卓精科的“光刻机双工件台”业务并不是直接来源于“光刻机双工件台”产品销售,而是“光刻机双工件台模块及技术开发”。

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